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NanoSystem NVM-6000P非接觸式3D表面測量系統用于PCB基板表面形貌的測量。 基板上的Via Hole，Pad形狀，pattern形貌和表面形貌等11個項目可以進行自動測量。 在高速測量下仍具有優秀的重復性和準確性，支持用戶設定測量條件和測量數據自動保存及分析功能。

Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀，通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm的3維表面形貌進行高進度和高速測量。利用物鏡轉臺可方便的進行放大倍數的轉換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。

Nanosystem NV-2400非接觸式3D輪廓儀通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm的3維表面形貌進行高進度和高速測量。利用物鏡轉臺可方便的進行放大倍數的轉換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。

Nanosystem NV-1000白光干涉儀是利用白光干涉特性來進行表面形貌的測量，它結合了典型的WSI非常高的垂直分辨率和一個非常大的面積高達21.7毫米x16.3毫米。這使得高精度和大面積快速測量成為可能，而無需縫合。

NanoSystem CS-2000氣缸內壁表面形貌儀結合了無損分析性能, 操作便利。除了評估ISO粗糙度值, 采用白光干涉測量技術之外, 這款緊湊型系統還可以測量納米尺度粗糙度, 亞納米分辨率和生產水平能力的三維表面形貌。